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辉光放电
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辉光放电溅射系统模拟数据集_Alacant
2025年11月29日
30
7
5
数据集概述 该数据集包含FORTRAN 77程序ALACANT,用于一维模拟辉光放电阴极区的电荷交换、电离过程,以及溅射物质通过等离子体区域到衬底的传输,可输出电场、暗区范围等关键参数。 文件详解 文件名称:Alacant Modeling of glow discharge sputtering systems/abfc_v1_0.gz...
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