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标签: 原子层沉积

过滤结果

  • Ga_ALD_Data_GaOx壳层原子层沉积实验原始数据

    2026年1月30日 30 40 8

    数据集概述 本数据集为已发表在《Chemistry of Material》的论文“Nature of GaOx Shells Grown on Silica by Atomic Layer Deposition”的原始数据，包含1个压缩文件，用于支持该论文中关于二氧化硅基底上原子层沉积GaOx壳层特性的研究。 文件详解 文件名称：Data for...
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  • ALD_PillarHall_LHAR3_微观矩形通道Al2O3薄膜厚度剖面数据V0001

    2026年1月13日 30 67 61

    数据集概述 本数据集记录了在PillarHall(TM) LHAR3-1b硅基横向高纵横比测试结构上，通过原子层沉积（ALD）技术使用三甲基铝（TMA）和水在300℃下经过500次循环生长的Al₂O₃薄膜的厚度剖面数据，用于分析薄膜在微观矩形通道内的沉积一致性。 文件详解 文件名称：ALD-thickness-profile V0001...
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  • 原子层沉积法在Sb2Te3拓扑绝缘体上生长的Co薄膜铁磁共振数据集

    2025年12月7日 30 185 22

    数据集概述 本数据集包含与论文《原子层沉积法在Sb2Te3拓扑绝缘体上生长的Co薄膜的铁磁共振》相关的原始数据文件，对应论文中的图表内容，为研究Co薄膜与拓扑绝缘体界面的磁学性质提供数据支持。 文件详解 图表数据文件（.opju格式，共5个）： Fig6_DeltaHvsFreq.opju：对应论文图6的线宽随频率变化数据...
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