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数据2018年欧洲微机械与微系统研讨会_电热驱动悬臂梁传感器共振跟踪优化研究数据

2026年1月19日 30 202 198

数据集概述本数据集为论文“Enhancement of real-time resonance tracking in electro-thermally actuated cantilever sensor with optimized phase...
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