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硅中离子注入分布剖面研究及热退火对硅化铁结构影响
2025年12月15日 30 32 20
数据集概述 该数据集包含一份关于硅中离子注入分布剖面及热退火对硅化铁结构影响的研究文档,聚焦离子注入分布特征与热退火工艺对硅化铁结构的作用,为相关材料科学研究提供文献支持。 文件详解 该数据集包含一个PDF格式的文档文件,具体如下: - 文件名称: А.А.Khamraev, Kh.A.Dusmatov,B.E.Egamberdiev, S.Kh....
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