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Zenodo_Based_硅_nitride光子电路晶圆制备开放数据_2020_11_14
2026年1月13日 30 154 80
数据集概述 本数据集为论文“High-yield, wafer-scale fabrication of ultralow-loss, dispersion-engineered silicon nitride photonic circuits”的开放数据，包含晶圆级制备的超低损耗、色散工程硅 nitride光子电路相关数据，以压缩包形式提供。...
2026年1月13日 30 154 80
