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Data_Based_电热谐振MEMS悬臂梁传感器非稳态频率响应增强研究数据2019
2026年1月18日 30 171 136
数据集概述 本数据集为论文《Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors》的配套数据，包含研究中使用的Origin项目文件和图表，支撑微机电系统（MEMS）悬臂梁传感器非稳态频率响应增强的实验与分析。...
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