辉光放电溅射系统模拟数据集_Alacant

数据集概述

该数据集包含FORTRAN 77程序ALACANT，用于一维模拟辉光放电阴极区的电荷交换、电离过程，以及溅射物质通过等离子体区域到衬底的传输，可输出电场、暗区范围等关键参数。

文件详解

• 文件名称：Alacant Modeling of glow discharge sputtering systems/abfc_v1_0.gz
• 文件格式：压缩包（.gz）
• 内容说明：包含辉光放电溅射系统模拟程序ALACANT的核心文件，用于计算阴极区电场、粒子通量能量分布、电流密度等参数

数据来源

CPC Program Library（Queen's University Belfast）、Mendeley Data

适用场景

• 辉光放电物理过程研究：分析阴极区电荷交换与电离机制
• 溅射沉积工艺优化：模拟溅射物质传输效率与衬底沉积率
• 等离子体参数计算：研究暗区范围、粒子通量分布等关键指标
• 放电系统数值模拟方法验证：对比实验数据与模拟结果的一致性