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β_Ga2O3_Si异质结构XRD_Raman实验分析数据
2025年11月27日 30 206 49
数据集概述 本数据集包含通过射频磁控溅射技术在硅衬底上沉积β-氧化镓薄膜的实验分析数据。数据通过X射线衍射和拉曼光谱分析确认了合成氧化镓薄膜的高结晶质量，并实验测定了β-Ga₂O₃/Si异质结构中的机械应力。数据集包含两个分析文件，分别对应不同的材料表征方法。 文件详解 XRD分析数据 文件名称：XRD_Ga2O3_SI.opj 文件格式：OPJ...
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