-
硅锗合金单层掺杂实验数据集
2025年12月19日 30 83 33
数据集概述 本数据集包含硅锗（SiGe）合金单层掺杂（MLD）实验的相关数据，涉及不同锗浓度（18%、30%、60%）外延薄膜的磷掺杂研究，涵盖原子力显微镜（AFM）、透射电子显微镜（TEM）、二次离子质谱（SIMS）等实验结果文件，为分析掺杂与应变弛豫平衡关系提供支撑。 文件详解 该数据集包含27个文件，具体说明如下： -...
-
超掺杂Ge和Si0_15Ge0_85薄膜热稳定性数据集
2025年12月16日 30 84 56
数据集概述 本数据集为论文《Thermal stability of hyper-doped Ge and Si0.15Ge0.85 films obtained by in situ doping and pulsed laser...
