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标签: 半导体工艺优化

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  • 氧化铝热原子层刻蚀第一性原理研究坐标数据集

    2025年12月20日 30 154 31

    数据集概述 该数据集包含基于密度泛函理论（DFT）计算的氧化铝热原子层刻蚀反应的坐标数据，为研究该反应的原子级过程提供基础数据支持。 文件详解 文件名称: Coordinate dataset.zip 文件格式: ZIP（压缩文件） 内容说明: 压缩包内包含DFT计算生成的氧化铝热原子层刻蚀反应相关坐标数据，具体字段映射需解压后查看原始文件 适用场景...
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