氧化铝热原子层刻蚀第一性原理研究坐标数据集

数据集概述

该数据集包含基于密度泛函理论（DFT）计算的氧化铝热原子层刻蚀反应的坐标数据，为研究该反应的原子级过程提供基础数据支持。

文件详解

• 文件名称: Coordinate dataset.zip
• 文件格式: ZIP（压缩文件）
• 内容说明: 压缩包内包含DFT计算生成的氧化铝热原子层刻蚀反应相关坐标数据，具体字段映射需解压后查看原始文件

适用场景

• 材料科学研究: 分析氧化铝热原子层刻蚀反应的原子级机理
• 计算化学模拟: 验证或扩展DFT计算在刻蚀反应中的应用
• 半导体工艺优化: 为氧化铝材料的刻蚀工艺参数设计提供理论数据支持