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Carinthia_S_Dataset_Based_半导体晶圆缺陷SEM图像分析完整数据
2025年12月11日 30 148 116
数据集概述 该数据集是原始Carinthia数据集的增强版本，包含非结构化半导体晶圆单一生产层缺陷的扫描电子显微镜（SEM）图像，以及每个缺陷图像对应的专家验证二进制分割掩码。数据集共四千五百九十一组图像与掩码对，不均匀分布在六个缺陷类别中。 文件详解 文件名称: data.zip：压缩文件格式，包含所有SEM缺陷图像及其对应的分割掩码文件。...
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