Carinthia_S_Dataset_Based_半导体晶圆缺陷SEM图像分析完整数据

数据集概述

该数据集是原始Carinthia数据集的增强版本，包含非结构化半导体晶圆单一生产层缺陷的扫描电子显微镜（SEM）图像，以及每个缺陷图像对应的专家验证二进制分割掩码。数据集共四千五百九十一组图像与掩码对，不均匀分布在六个缺陷类别中。

文件详解

• 文件名称: data.zip：压缩文件格式，包含所有SEM缺陷图像及其对应的分割掩码文件。
• 文件名称: carinthia-s_dataset.html：HTML格式，提供数据集的详细描述文档。

适用场景

• 计算机视觉研究: 用于训练和评估半导体晶圆缺陷的图像分割模型。
• 缺陷检测算法开发: 支持深度学习模型在工业缺陷识别场景中的性能测试。
• 半导体制造质量控制: 分析不同缺陷类别的分布特征，优化生产工艺。
• 专家系统验证: 基于专家标注数据，验证自动化缺陷检测系统的准确性。