-
Carinthia半导体晶圆缺陷扫描电镜图像数据集
2025年12月14日 30 28 12
数据集概述 本数据集包含非结构化半导体晶圆某一生产层缺陷的扫描电镜(SEM)图像,共四千五百九十一幅图像,不均匀分布于六个缺陷类别,为半导体生产缺陷分析提供视觉数据支持。 文件详解 文件名称: data.zip:压缩包格式,包含所有半导体晶圆缺陷的扫描电镜图像数据。 文件名称:...
-
Carinthia_S_Dataset_Based_半导体晶圆缺陷SEM图像分析完整数据
2025年12月11日 30 37 8
数据集概述 该数据集是原始Carinthia数据集的增强版本,包含非结构化半导体晶圆单一生产层缺陷的扫描电子显微镜(SEM)图像,以及每个缺陷图像对应的专家验证二进制分割掩码。数据集共四千五百九十一组图像与掩码对,不均匀分布在六个缺陷类别中。 文件详解 文件名称: data.zip:压缩文件格式,包含所有SEM缺陷图像及其对应的分割掩码文件。...



