Carinthia半导体晶圆缺陷扫描电镜图像数据集

数据集概述

本数据集包含非结构化半导体晶圆某一生产层缺陷的扫描电镜（SEM）图像，共四千五百九十一幅图像，不均匀分布于六个缺陷类别，为半导体生产缺陷分析提供视觉数据支持。

文件详解

• 文件名称: data.zip：压缩包格式，包含所有半导体晶圆缺陷的扫描电镜图像数据。
• 文件名称: carinthia_dataset.html：HTML格式，提供数据集的详细描述信息。

适用场景

• 半导体制造质量控制：分析晶圆生产层的缺陷类型与分布特征。
• 计算机视觉研究：用于缺陷检测算法的训练与验证。
• 材料科学分析：探究半导体材料缺陷的微观形态与形成机制。