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磁电MEMS传感器用压电ScyAl_1_y_N薄膜上磁致伸缩CoxFe_1_x_薄膜沉积的粘附层研究数据集
2025年12月15日 30 25 14
数据集概述 本数据集围绕磁电MEMS传感器的薄膜堆叠结构展开，聚焦压电ScyAl(1-y)N薄膜与磁致伸缩CoxFe(1-x)薄膜间粘附层（Cr/Zr）对相转变及层间性能的影响，包含RTA工艺日志、XRD、EDS测试原始数据及FIB制备截面的SEM图像。 文件详解 文档类文件：...
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