数据集概述
本数据集围绕磁电MEMS传感器的薄膜堆叠结构展开，聚焦压电ScyAl(1-y)N薄膜与磁致伸缩CoxFe(1-x)薄膜间粘附层（Cr/Zr）对相转变及层间性能的影响，包含RTA工艺日志、XRD、EDS测试原始数据及FIB制备截面的SEM图像。
文件详解
- 文档类文件：
- README.pdf：PDF格式，包含样本名称与工艺参数的对应翻译表，如不同粘附层（Cr/Zr）、厚度（25nm/250nm）及退火温度（800°C）下的样本编号映射
- README.md：MD格式，内容与README.pdf一致，为文本格式的说明文档
- 归档类文件（压缩包）：
- RTA.zip：压缩包，包含快速热退火（RTA）工艺的日志文件
- XRD.zip：压缩包，包含X射线衍射（XRD）测试的原始数据
- EDS.zip：压缩包，包含能量色散X射线光谱（EDS）测量的原始数据
- SEM.zip：压缩包，包含聚焦离子束（FIB）制备截面的扫描电子显微镜（SEM）图像
适用场景
- 薄膜材料研究：分析Cr/Zr粘附层对磁致伸缩CoxFe(1-x)薄膜相转变的影响机制
- 磁电MEMS传感器开发：优化压电与磁致伸缩层间界面设计，提升传感器性能
- 材料表征方法验证：对比XRD、EDS、SEM等表征技术在薄膜堆叠结构分析中的应用效果
- 工艺参数优化：基于RTA日志数据研究退火工艺对薄膜层间性能的调控规律
