数据集 - 海数据

氩氧混合气体脉冲磁控溅射放电等离子体正_负离子能量分布与功能氧化锌薄膜沉积数据集

2025年12月15日 30 8 5

数据集概述本数据集记录了氩氧混合气体环境下，脉冲磁控溅射放电产生的等离子体正/负离子能量分布特征，以及不同脉冲频率下沉积的功能氧化锌薄膜的表征数据，包含微观结构、光学性能等多维度分析结果。文件详解...
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