数据集概述
本数据集记录了氩氧混合气体环境下，脉冲磁控溅射放电产生的等离子体正/负离子能量分布特征，以及不同脉冲频率下沉积的功能氧化锌薄膜的表征数据，包含微观结构、光学性能等多维度分析结果。
文件详解
- 图像文档文件（PDF格式）：共6个，记录薄膜微观结构，如SEM10.pdf（10kHz脉冲频率下的扫描电镜图像）、SEM30.pdf（30kHz扫描电镜图像）、SEMtop20.pdf（20kHz薄膜表面扫描电镜图像）等。
- 光谱与性能数据文件（CSV格式）：共6个，记录光学及红外性能数据，如FigIRn+k.csv（不同脉冲频率下的红外椭偏参数n和k数据）、FigPL.csv（光致发光光谱数据）、FigPDS.csv（光热偏转光谱数据）等。
- 综合数据文件（XLSX格式）：共2个，整合多维度数据，如FigXRD.xlsx（X射线衍射数据）、Figures.xlsx（多类型表征数据汇总）。
适用场景
- 等离子体物理研究：分析脉冲磁控溅射放电中正负离子的能量分布规律
- 薄膜材料科学：研究脉冲频率对氧化锌薄膜微观结构与光学性能的影响
- 功能材料开发：探索高透明氧化锌薄膜在光电器件领域的应用潜力
- 表面工程技术：优化脉冲磁控溅射工艺参数以调控薄膜沉积质量
