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标签: ALD薄膜模拟

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  • DReaM_ALD_Based_500nm微通道ALD薄膜模拟厚度剖面数据_存档版

    2026年1月15日 30 97 89

    数据集概述 本数据集为原子层沉积（ALD）薄膜在500纳米高宽微通道中的模拟厚度剖面数据，对应PCCP 24（2022）期刊论文的图4内容。数据基于扩散反应模型生成，包含基线条件及单参数变量（如反应物分压、温度等）下的薄膜厚度剖面，以Excel和CSV格式存储，支持ALD沉积过程的参数影响分析。 文件详解 Excel文件 文件名称：DReaM-...
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