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CMOS兼容
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应变驱动的SOI衬底SiGe薄膜去湿与互扩散数据集
2025年12月12日
30
38
13
数据集概述 本数据集围绕CMOS兼容纳米结构应用,包含SOI衬底SiGe薄膜的X射线衍射数据(对称扫描与倒易空间图),以及原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)图像,用于研究应变驱动的去湿与互扩散现象。 文件详解 文档文件: 000_ReadMe.pdf:PDF格式,提供数据集的背景说明与使用指南。 图像文件:...
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