数据集概述
本数据集围绕CMOS兼容纳米结构应用，包含SOI衬底SiGe薄膜的X射线衍射数据（对称扫描与倒易空间图），以及原子力显微镜（AFM）和扫描电镜（SEM）图像，用于研究应变驱动的去湿与互扩散现象。
文件详解
- 文档文件：
- 000_ReadMe.pdf：PDF格式，提供数据集的背景说明与使用指南。
- 图像文件：
- xrd_SGOI_SiGe35_02_w2t.jpg：JPG格式，SiGe薄膜的ω-2θ扫描X射线衍射图谱。
- SiGe35_page.jpg：JPG格式，SiGe薄膜相关的实验或分析页面图像。
- 压缩包文件：
- X-ray diffraction.zip：ZIP格式，包含X射线衍射（如倒易空间图）的原始或处理数据。
- AFM-SEM_rep.zip：ZIP格式，包含原子力显微镜（AFM）和扫描电镜（SEM）的图像数据。
适用场景
- 半导体材料研究：分析SOI衬底SiGe薄膜的应变状态与晶体结构。
- 纳米制造技术：探究应变驱动下SiGe薄膜的去湿行为与互扩散机制。
- 微电子器件开发：为CMOS兼容纳米结构的设计与优化提供实验数据支持。
- 材料表征方法：验证X射线衍射、AFM及SEM在薄膜材料分析中的应用效果。
