数据集概述
本数据集包含论文《氮极性氮化镓的几何控制微尺度图案化与外延横向过生长》的原始数据，涵盖SEM图像、XRD扫描数据、数据表格等多种类型文件，为相关研究提供实验数据支持。
文件详解
- 说明文件：
- README.txt：文档格式，包含数据集的整体说明
- 数据表格文件：
- Tilt_table.csv：CSV格式，字段包括Nominal_thickness（标称厚度）、phi（角度）、w_GaN（氮化镓峰宽）、2T_GaN（氮化镓衍射角）、offset-GaN（氮化镓偏移量）、w_sapph（蓝宝石峰宽）、2T_sapph（蓝宝石衍射角）、offset_sapph（蓝宝石偏移量）、Delta_offset（偏移量差值）
- Summary.csv：CSV格式，字段包括File_name（文件名）、Type_of_data（数据类型）、Ref_in_text（文中引用）
- FWHM_table.csv：CSV格式，未提供具体字段预览
- 图像文件：
- .tif格式文件（如WetEtch_NT3077-step1.tif）：包含SEM扫描图像
- .jpg格式文件（如H2series-NT3068-42_250nm.jpg）：包含实验样品图像
- 衍射数据文件：
- .xrdml格式文件（如NT3182_750nm_w2T-2T-rsm-002GaN-006sapph_phi90_pixcel.xrdml）：包含XRD扫描和倒易空间图数据
适用场景
- 材料科学研究：分析氮极性氮化镓的微尺度图案化工艺参数与材料性能的关系
- 半导体技术开发：研究外延横向过生长技术对氮化镓晶体质量的影响
- 实验数据验证：复现论文中的实验结果，支持相关领域的学术研究
- 表征方法应用：探索SEM、XRD等表征技术在氮极性氮化镓研究中的应用
