动态超球面支持向量数据描述及批次过程监测应用数据集

数据集概述

本数据集为动态超球面支持向量数据描述方法及批次过程监测应用研究提供测试数据，包含半导体刻蚀工艺测试数据与青霉素发酵过程测试数据两类压缩文件。

文件详解

• MACHINE_Data.rar：压缩文件，包含青霉素补料分批发酵过程测试数据，文件格式为.rar
• pensim data.rar：压缩文件，包含半导体刻蚀工艺测试数据，文件格式为.rar

适用场景

• 工业过程监测研究：可用于测试动态超球面支持向量数据描述方法在批次过程异常检测中的性能
• 半导体工艺分析：适用于半导体刻蚀工艺数据的异常识别与质量控制研究
• 生物发酵过程优化：可用于青霉素发酵过程的运行状态监测与故障诊断分析
• 机器学习算法验证：为批次过程监测领域的新型数据描述算法提供基准测试数据