数据集概述
本数据集为论文“Spatially selective crystallization of ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films induced by sub-nanosecond laser annealing”的配套数据，包含铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜经亚纳秒激光退火后空间选择性结晶相关的实验数据，共3个压缩文件，支持材料科学领域对铁电薄膜结晶特性的研究。
文件详解
- 微衍射数据（Micro Diffraction.zip）
- 文件名称：Micro Diffraction.zip
- 文件格式：ZIP（压缩包）
- 字段映射介绍：包含铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜亚纳秒激光退火后的微衍射实验数据，具体内容需解压后查看
- X射线光电子能谱数据（XPS.zip）
- 文件名称：XPS.zip
- 文件格式：ZIP（压缩包）
- 字段映射介绍：包含铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜的X射线光电子能谱实验数据，具体内容需解压后查看
- X射线衍射数据（XRD.zip）
- 文件名称：XRD.zip
- 文件格式：ZIP（压缩包）
- 字段映射介绍：包含铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜亚纳秒激光退火后的X射线衍射实验数据，具体内容需解压后查看
数据来源
论文“Spatially selective crystallization of ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films induced by sub-nanosecond laser annealing”
适用场景
- 铁电薄膜材料结晶特性研究：分析亚纳秒激光退火对Hf0.5Zr0.5O2薄膜空间选择性结晶的影响机制
- 材料表征技术应用：利用微衍射、XPS、XRD数据开展铁电薄膜的结构与成分表征
- 激光退火工艺优化：基于实验数据优化铁电薄膜亚纳秒激光退火的工艺参数
- 铁电材料应用开发：为铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜在电子器件中的应用提供实验数据支撑
