数据集概述
本数据集为论文《Effect of ion irradiation on superconducting thin films》的配套数据，包含超导薄膜在离子辐照前后的室温薄层电阻、不同温度下的电阻变化、透射电子显微镜（TEM）图像、傅里叶变换（FFT）图及能量色散谱（EDS）数据，全面支撑离子辐照对超导薄膜影响的研究。
文件详解
- 电阻测量数据文件：
- Sheet_resistances_in_room_temperature.txt：TXT格式，包含各晶圆辐照前后的室温薄层电阻，字段有Label、辐照前电阻（ohm/sq）、辐照后电阻（ohm/sq）
- [晶圆标识].csv（如Nb4_b.csv、TiN2_b.csv）：CSV格式，记录温度（K）与归一化电阻（R(T)/R_RT），部分晶圆含多组测量（_a/_b/_c）
- 显微图像文件：
- [晶圆标识]_TEM.tif（如M7_TEM.tif）：TIF格式，透射电子显微镜（TEM）图像
- FFT_[TEM文件名].png（如FFT_S2_TEM.png）：PNG格式，基于TEM图像生成的傅里叶变换（FFT）图
- 能谱分析数据文件（按晶圆标识分组）：
- [晶圆标识]_EDS.raw（如S5_EDS.raw）：RAW格式，能量色散谱（EDS）原始数据
- [晶圆标识]_EDS.rpl（如S5_EDS.rpl）：RPL格式，EDS相关数据文件
- [晶圆标识]_EDS_attributes.png（如S5_EDS_attributes.png）：PNG格式，EDS数据属性图
适用场景
- 超导材料研究：分析离子辐照对超导薄膜电学性能的影响
- 材料表征分析：结合TEM图像、FFT图及EDS数据，研究辐照导致的薄膜微观结构变化
- 实验复现验证：支撑论文《Effect of ion irradiation on superconducting thin films》研究结果的复现与验证
- 超导薄膜工艺优化：基于电阻变化数据，优化离子辐照工艺参数以调控薄膜性能
