Mg_Mg_X薄膜沉积的热离子真空弧与激光诱导TVA技术综述数据集

数据集概述

该数据集是关于Mg/Mg:X薄膜沉积技术的综述文章配套数据，核心围绕热离子真空弧（TVA）及激光诱导TVA方法展开，包含综述论文、元数据、说明文档及压缩文件，为相关薄膜沉积技术研究提供参考资料。

文件详解

• 文件名称: Metadata.ods，文件格式: ODS
• 文件名称: ReadMe.txt，文件格式: TXT，包含数据集基本说明及子目录对应文档指引
• 文件名称: 1-s2.0-S2213956724002809-main.pdf，文件格式: PDF，为综述文章原文
• 文件名称: 2024_UK_MFF_Kudrna_01.zip，文件格式: ZIP，为压缩存档文件

适用场景

• 薄膜材料制备技术研究: 分析TVA及激光诱导TVA技术在Mg基薄膜沉积中的应用
• 真空镀膜工艺优化: 参考不同技术路线的参数与性能关联
• 材料科学文献计量: 梳理Mg/Mg:X薄膜领域的技术演进脉络
• 先进镀膜设备开发: 为新型TVA衍生技术的设计提供理论与实践参考