数据集概述
本数据集为论文《MOVPE法在倾斜（0001）蓝宝石上生长氮极性AlN》（审稿中）的原始数据，包含多种实验测量文件与汇总表格，可通过README.txt和Summary.csv了解详情，为相关材料生长研究提供数据支持。
文件详解
该数据集包含50个文件，按类型分类说明如下：
- 主要测量文件：
- .xqd文件（28个）：如F1844B-centre-008.xqd，为原子力显微镜（AFM）扫描数据文件，可通过SNOM-Putz、Gwyddion等软件打开
- .fimap文件（13个）：如F1610A.fimap，为厚度图文本文件
- .jpg文件（5个）：如F1845A-BF-p2-10x.jpg，为光学显微镜图像文件
- 表格文件：
- Summary.csv：数据集汇总表格
- FWHM_table.csv：包含Sample#、Substrate、V/III_ratio、002(arsec)、102(arsec)等字段的半高宽数据表格
- Growth_rate_table.csv：包含Run#、Pocket、Substrate、V/III_ratio、Thickness(nm)、Standard_deviation(nm)、Growth_time(minutes)等字段的生长速率数据表格
- 说明文件：
- README.txt：数据集详细说明文件
适用场景
- 材料科学研究：分析MOVPE法生长氮极性AlN的实验参数与材料性能关联
- 半导体材料表征：研究AlN薄膜的晶体质量（如FWHM数据）与生长条件的关系
- 实验方法验证：复现或验证倾斜蓝宝石衬底上氮极性AlN的生长工艺
- 原子力显微镜数据分析：处理和解读.xqd格式的AFM扫描原始数据
