实验X射线光谱CNx_WP2_3_NASU数据集

数据集概述

本数据集为WP2-3项目下的实验X射线光谱数据，围绕氮化非晶碳膜结构研究展开，包含不同氮气流量沉积样品的原始及真空退火后X射线反射率测量结果，用于验证样品密度与孔隙率。

文件详解

• 文件名称: Experimental_X-ray_spectroscopy_CNx_WP2-3_NASU.zip
• 文件格式: ZIP压缩包
• 核心字段说明:
• Omega/2Theta: 单位为度（deg）
• Intensities: 单位为每秒计数（imp/s）
• Note: 标记退火样品（标注“KO36_ann”）
• 样品分组: 不同氮气流量样品（如KO360、KO361对应N2/CH4=15/4，KO369对应0/15）

适用场景

• 材料科学研究: 分析氮气流量对氮化非晶碳膜结构的影响
• 薄膜性能表征: 研究真空退火处理对碳膜密度、孔隙率的调控作用
• X射线光谱应用: 验证X射线反射率技术在薄膜材料表征中的有效性
• 材料制备优化: 为氮化碳膜沉积工艺参数优化提供实验数据支持