SrTiO3衬底体微加工氧化膜数据集

数据集概述

该数据集为期刊文章《Oxide Membranes from Bulk Micro-Machining of SrTiO3 substrates》的配套数据，围绕SrTiO3衬底体微加工制备氧化膜的研究内容展开，提供相关实验或分析数据支持。

文件详解

• 文件名称：STO_Bulk_micromachining-Dataset.zip
• 文件格式：ZIP压缩包（.zip）
• 内容说明：压缩包内包含该期刊文章相关的数据集，具体字段及内容需解压后查看

适用场景

• 材料科学研究：分析SrTiO3衬底体微加工工艺对氧化膜性能的影响
• 微电子器件开发：探究氧化膜在微电子器件中的应用潜力
• 微加工技术优化：为体微加工工艺参数改进提供数据参考
• 期刊文章数据复现：支持该主题期刊文章研究结论的验证与复现