数据集概述
本数据集围绕盐酸化学刻蚀ZnO薄膜表面织构对臭氧气体传感性能的影响展开，包含DRX、Raman、XPS、MEV等表征数据及气敏测试结果，为研究表面处理对ZnO气敏性能的增强机制提供支撑。
文件详解
- 数据与图表文件（位于Data and Figures/目录下）：
- Fig_1 DRX/FIG_1.opj：DRX分析图表文件
- Fig_2 Raman/FIG_2.opj：Raman光谱分析图表文件
- FIG_3 XPS/Fig3.opj：XPS表征分析图表文件
- FIG_4 MEV/Wa056010 04.tif等：MEV显微图像文件，格式为.tif
- FIG_5 _ 6 _ 7 GAS/Fig_5.opj、Fig_6 _ 7.opj：气敏测试结果图表文件
- 原始数据文件：
- Fig_1 DRX/raw data/WA03707.raw等：DRX原始数据文件，格式为.raw、.xy
- Fig_2 Raman/raw/HT = 500 (WA03701).txt等：Raman原始光谱数据文件，格式为.txt
- FIG_3 XPS/data/am11.vms等：XPS原始数据文件，格式为.vms
- 分析与精修文件：
- Fig_1 DRX/refinement/inst_xry.prm等：DRX精修参数文件
- Fig_2 Raman/analysis/HT = 500 (WA03701) fit parameters.dat等：Raman拟合参数文件，格式为.dat、.png
适用场景
- 材料科学研究：分析盐酸刻蚀对ZnO薄膜表面结构的调控机制
- 气敏材料开发：探究表面织构优化对ZnO臭氧传感性能的增强效应
- 表征技术应用：验证DRX、Raman、XPS等表征手段在材料性能研究中的协同作用
- 传感器设计：为高性能ZnO基气体传感器的结构设计提供数据参考
