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分类: 公开数据 标签: 半导体工艺

过滤结果

  • 氧化铝热原子层刻蚀第一性原理研究坐标数据集

    2025年12月20日 30 65 59

    数据集概述 该数据集包含基于密度泛函理论（DFT）计算的氧化铝热原子层刻蚀反应的坐标数据，为研究该反应的原子级过程提供基础数据支持。 文件详解 文件名称: Coordinate dataset.zip 文件格式: ZIP（压缩文件） 内容说明: 压缩包内包含DFT计算生成的氧化铝热原子层刻蚀反应相关坐标数据，具体字段映射需解压后查看原始文件 适用场景...
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  • 硅中离子注入分布剖面研究及热退火对硅化铁结构影响

    2025年12月15日 30 196 176

    数据集概述 该数据集包含一份关于硅中离子注入分布剖面及热退火对硅化铁结构影响的研究文档，聚焦离子注入分布特征与热退火工艺对硅化铁结构的作用，为相关材料科学研究提供文献支持。 文件详解 该数据集包含一个PDF格式的文档文件，具体如下： - 文件名称: А.А.Khamraev, Kh.A.Dusmatov,B.E.Egamberdiev, S.Kh....
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  • 氮化镓碱性湿法刻蚀的神经网络驱动分子洞察数据集

    2025年12月13日 30 97 92

    数据集概述 本数据集围绕氮化镓（GaN）碱性湿法刻蚀的分子机制展开，包含训练好的Behler-Parrinello型神经网络势（NNP）及相关数据，用于精准模拟镓、氮、钾、氧五元体系的相互作用与动力学过程，支持纳米结构制备的原子级精度研究。 文件详解 文件名称: dataset_extxyz.zip，文件格式:...
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  • 硅中植入铁的分布剖面研究及退火对结构的影响

    2025年12月11日 30 42 0

    数据集概述 本数据集为一份研究文档，内容围绕硅材料中植入铁元素的分布剖面，以及退火工艺对其结构的影响展开，提供相关实验或分析结果的记录。 文件详解 文件名称：Б.Э.Эгамбердиев1, Ш.А.Сайфуллоев2, Х. Х. Мамиров1.pdf 文件格式：PDF（.pdf）...
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  • 电子束光刻点扩散函数的测量模拟与模型数据集2025

    2025年12月6日 30 209 139

    数据集概述 本数据集包含电子束光刻点扩散函数的相关数据，涵盖150千伏下单次电子束曝光的孔半径测量结果、5至150千伏下材料堆叠的蒙特卡洛剂量分布模拟，以及幂律加高斯模型的拟合数据。 文件详解 文件名称: Data_Hougs_2025_Measurements.zip 文件格式: ZIP压缩包 文件内容:...
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