数据集 Si3N4薄膜缺陷二次谐波显微检测数据集 数据集概述 本数据集为期刊论文配套实验数据，核心内容是使用TESCAN VEGA 3扫描电子显微镜（SEM）对激光诱导损伤阈值（LIDT）样品进行测量的原始实验数据，支持Si3N4薄膜缺陷的二次谐波显微检测研究。 文件详解 文件名称: Open_data.zip 文件格式: ZIP（压缩包） 内容说明: 包含所有实验数据的压缩归档文件，未提供具体字段或内容预览信息。 适用场景 材料科学研究: 分析Si3N4薄膜缺陷的检测方法与特性 光学检测技术研究: 探究二次谐波显微技术在薄膜缺陷检测中的应用 扫描电子显微镜实验数据验证: 支持相关论文实验结果的复现与验证 数据与资源 16411232.zipZIP 43.27 MiB 下载 LIDT SEM Si3N4 TESCAN VEGA 3 ZIP 二次谐波 二次谐波显微技术 光学检测 制造业 压缩包数据 学术科研 学生 实验复现 实验数据 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜实验 技术开发 损伤阈值 显微检测 期刊论文 材料光学特性研究 材料研究 检测方法 模型评估 氮化硅 激光诱导损伤阈值 激光诱导损伤阈值分析 研究人员 缺陷特性 薄膜材料 薄膜缺陷 薄膜缺陷检测 附加信息 字段 值 作者 Maxj 版本 1 数据集大小 43.27 MiB 最后更新 2025年12月12日 创建于 2025年12月12日 声明 当前数据集部分源数据来源于公开互联网，如果有侵权，请24小时联系删除(400-600-6816)。
